掃描電鏡是介于透射電鏡和光學顯微鏡之間的一種微觀形貌觀察手段，可直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能進行微觀成像。

SEM掃描電鏡光闌簡介

光闌是光學成像系統(tǒng)關(guān)機零件，在相機和顯微鏡中普遍使用，一般稱作光圈。如果對光圈的概念不了解，說明對光學成像儀器裝置還沒入門。光闌要在多級透鏡組的軸線上，光闌ZX務(wù)必與透鏡軸心保持機械同心。掃描電鏡的電子透鏡系統(tǒng)也要使用光闌，并且光闌孔的尺寸可調(diào)。

掃描電鏡光闌的作用：

1、過濾電子束中的遠軸電子，減小電子透鏡球差影響。

2、改變孔徑角度，從而調(diào)節(jié)圖像景深，并且減小電子透鏡色差影響。

SEM掃描電鏡光闌是消耗品：

一般光學儀器光闌設(shè)計是性的，即使是活動光闌，其壽命也是和機器終身壽命一致的。掃描電鏡光闌不同，光闌材料采用鉑金或者鉬金，由于電子束具有很高能量，具有破壞力，并且光闌污染后需要高溫灼燒(500-800℃)，尤其高溫灼燒，對光闌的損傷是Z大的。對因此光闌的壽命相對于掃描電鏡壽命顯得非常短。一般正常使用壽命為一年。