掃描電鏡的參數(shù)主要包括以下幾個方面：

分辨率：

這是決定電鏡所能獲取圖像清晰程度的關(guān)鍵參數(shù)。對于場發(fā)射掃描電鏡SEM，其分辨率可以達(dá)到0.8 nm @ 15kV和1.4 nm @ 1kV（非減速模式）。高分辨率的圖像有助于更準(zhǔn)確地觀察和分析樣品的微觀結(jié)構(gòu)。

放大倍率：

SEM掃描電鏡的放大倍率決定了觀察物體細(xì)節(jié)的程度。放大倍數(shù)范圍可以從12X到2,000,000X，且連續(xù)可調(diào)，無需更換模式。這種廣泛的放大倍率范圍使得掃描電鏡能夠適用于從宏觀到微觀的各種尺度的觀察。

加速電壓：

加速電壓是SEM掃描電鏡中*重要的參數(shù)之一，它決定了電子束的能量，從而影響到*終圖像的分辨率和深度。加速電壓范圍通常為20V-30kV，連續(xù)可調(diào)，無需更換模式。較高的加速電壓可以產(chǎn)生更高的能量電子束，使樣品表面更容易被穿透，從而獲得更深入的圖像細(xì)節(jié)。然而，過高的電壓可能會損壞樣品，因此需要進(jìn)行適當(dāng)?shù)倪x擇。

探針電流：

探針電流是指電子束在掃描過程中的強度。較高的探針電流能夠提供更多的電子，從而增強信號強度并減少圖像噪音。然而，過高的探針電流可能會導(dǎo)致樣品的燒損和退火，因此需要根據(jù)樣品的特性進(jìn)行適當(dāng)?shù)恼{(diào)整。探針電流的范圍通常為3pA-20nA，穩(wěn)定度優(yōu)于0.2%/h。

樣品倉要求：

掃描電鏡的樣品倉需要能夠容納一定尺寸的樣品。例如，某些SEM掃描電鏡的樣品倉要求*大樣品尺寸不小于45mm X 45mm X 45mm。

圖像處理系統(tǒng)：

掃描電鏡通常配備有先進(jìn)的圖像處理系統(tǒng)，包括配套計算機系統(tǒng)、顯示圖像分辨率、*大存儲圖像分辨率、存儲圖象格式以及降噪方式等。這些系統(tǒng)能夠確保圖像的高質(zhì)量獲取和處理。

綜上所述，SEM掃描電鏡的參數(shù)涵蓋了分辨率、放大倍率、加速電壓、探針電流、樣品倉要求和圖像處理系統(tǒng)等方面。這些參數(shù)的選擇和調(diào)整對于獲得高質(zhì)量的掃描電鏡圖像至關(guān)重要。