掃描電鏡在使用中經(jīng)常遇到的問題主要包括但不限于以下幾個方面：

1. 圖像顯示問題

無圖像顯示：這可能是由于電源未連接正常、計算機連接錯誤、驅(qū)動程序未安裝或電子束管電流和電壓設(shè)置不正確等原因?qū)е碌摹?/span>

圖像模糊：可能由試樣臺和透鏡的灰塵、電子槍聚焦和透鏡設(shè)置不當(dāng)、加速電壓設(shè)置不合適或試樣臺不平穩(wěn)引起。

圖像偏斜或傾斜：這通常與試樣臺的水平度、移動穩(wěn)定性或計算機連接的穩(wěn)定性有關(guān)。

圖像亮度不均勻：電子槍亮度設(shè)置不當(dāng)、透鏡和投影系統(tǒng)的污垢或缺損以及電子束的開啟時間和掃描速度設(shè)置不合適都可能導(dǎo)致此問題。

2. 樣品問題

樣品飄移：這可能是由于樣品固定不牢固、導(dǎo)電性較差、電子束輻照導(dǎo)致導(dǎo)電膠收縮或樣品未充分干燥等原因引起的。樣品飄移會嚴重影響圖片的拍攝和能譜分析。

樣品截面制樣：對于不同類型的樣品（如脆性薄片、高分子聚合物等），需要采用不同的制樣方法，如液氮脆斷、離子切割或冷凍超薄切片等，以確保獲得高質(zhì)量的截面圖像。

3. 電磁干擾問題

電磁干擾或波紋：SEM掃描電鏡設(shè)備可能受到其他電磁干擾源（如高頻設(shè)備）的影響，導(dǎo)致圖像中出現(xiàn)干擾或波紋。此時，需要將掃描電鏡設(shè)備與其他電磁干擾源保持一定距離，并確保電源線正確接地。

4. 設(shè)備操作與維護問題

操作不當(dāng)：如調(diào)焦時不慎使物鏡碰到試樣、在載物臺墊片圓孔中心位置遠離物鏡中心時切換物鏡等，都可能對設(shè)備造成損害。

設(shè)備維護：非專業(yè)人員不應(yīng)隨意調(diào)整顯微鏡照明系統(tǒng)（如燈絲位置），以免影響成像質(zhì)量。更換鹵素?zé)魰r需注意高溫，避免灼傷，并確保不直接用手接觸鹵素?zé)舻牟Ａw。設(shè)備不使用時應(yīng)及時關(guān)掉電源，以延長設(shè)備壽命。

5. 數(shù)據(jù)解釋問題

元素分布圖的噪點：在EDS（能量色散光譜儀）測試中，即使某些元素在樣品中的含量很低或為零，mapping元素分布圖中也可能出現(xiàn)噪點。因此，在解釋數(shù)據(jù)時，應(yīng)以定量數(shù)據(jù)為準。

6. 樣品導(dǎo)電性問題

不導(dǎo)電樣品的處理：在SEM掃描電鏡測試中，不導(dǎo)電的樣品需要進行導(dǎo)電處理（如噴金、噴鉑或噴碳），以避免充電和放電效應(yīng)對形貌圖觀察和拍照記錄的影響。然而，這些導(dǎo)電層可能會影響EDS測試中對其他元素的能譜分析。

綜上所述，掃描電鏡在使用中可能會遇到多種問題，這些問題涉及圖像顯示、樣品處理、電磁干擾、設(shè)備操作與維護以及數(shù)據(jù)解釋等多個方面。為了獲得高質(zhì)量的測試結(jié)果，用戶需要熟練掌握SEM掃描電鏡的操作技能，并嚴格按照操作規(guī)程進行操作和維護。